Ọriniinitutu jẹ ipo iṣakoso ayika ti o wọpọ ni iṣẹ ti awọn yara mimọ. Iwọn ibi-afẹde ti ọriniinitutu ojulumo ninu yara mimọ semikondokito ni iṣakoso lati wa ni iwọn 30 si 50%, gbigba aṣiṣe lati wa laarin iwọn dín ti ± 1%, gẹgẹbi agbegbe fọtolithographic - tabi paapaa kere si ni agbegbe iṣelọpọ ultraviolet (DUV). - Ni awọn aaye miiran, o le sinmi si laarin ± 5%.
Nitori ọriniinitutu ojulumo ni nọmba awọn ifosiwewe ti o le ṣe alabapin si iṣẹ gbogbogbo ti yara mimọ, pẹlu:
● idagba kokoro arun;
● Iwọn itunu ti oṣiṣẹ naa ni rilara ni iwọn otutu yara;
● idiyele aimi yoo han;
● ipata irin;
● Afẹfẹ oru omi;
● ibajẹ ti lithography;
● Gbigba omi.
Awọn kokoro arun ati awọn ajẹmọ ti ara miiran (mimu, awọn ọlọjẹ, elu, awọn mites) le ni isodipupo ni awọn agbegbe pẹlu ọriniinitutu ojulumo ju 60%. Diẹ ninu awọn ododo le dagba nigbati ọriniinitutu ojulumo kọja 30%. Nigbati ọriniinitutu ojulumo ba wa laarin 40% ati 60%, awọn ipa ti kokoro arun ati awọn akoran atẹgun le dinku.
Ọriniinitutu ibatan ni iwọn 40% si 60% tun jẹ iwọn iwọntunwọnsi eyiti awọn eniyan ni itunu. Ọriniinitutu ti o pọ julọ le jẹ ki awọn eniyan ni irẹwẹsi, lakoko ti ọriniinitutu ti o wa ni isalẹ 30% le jẹ ki awọn eniyan rilara gbigbẹ, chapped, aibalẹ atẹgun ati aibalẹ ẹdun.
Ọriniinitutu giga n dinku ikojọpọ ti idiyele aimi lori dada ti yara mimọ - eyi ni abajade ti o fẹ. Ọriniinitutu kekere dara julọ fun ikojọpọ idiyele ati orisun ti o le bajẹ ti itusilẹ elekitirosita. Nigbati ọriniinitutu ibatan ba kọja 50%, idiyele aimi bẹrẹ lati tuka ni iyara, ṣugbọn nigbati ọriniinitutu ibatan ba kere ju 30%, wọn le duro fun igba pipẹ lori insulator tabi dada ti ko ni ilẹ.
Ọriniinitutu ibatan laarin 35% ati 40% le jẹ adehun itelorun, ati awọn yara mimọ semikondokito nigbagbogbo lo awọn idari afikun lati ṣe idinwo ikojọpọ idiyele aimi.
Iyara ti ọpọlọpọ awọn aati kemikali, pẹlu ilana ipata, yoo pọ si bi ọriniinitutu ibatan ti n pọ si. Gbogbo awọn ipele ti o farahan si afẹfẹ ti o wa ni ayika yara mimọ ti wa ni kiakia ti a bo pelu o kere ju monolayer kan ti omi. Nigbati awọn oju-ilẹ wọnyi ba jẹ awọ ti irin tinrin ti o le fesi pẹlu omi, ọriniinitutu giga le mu iṣesi naa pọ si. Da, diẹ ninu awọn irin, gẹgẹ bi awọn aluminiomu, le ṣe kan aabo oxide pẹlu omi ati ki o se siwaju ifoyina aati; ṣugbọn ọran miiran, gẹgẹbi epo oxide, kii ṣe aabo, nitorinaa Ni awọn agbegbe ọriniinitutu giga, awọn ipele bàbà jẹ diẹ sii ni ifaragba si ipata.
Ni afikun, ni agbegbe ọriniinitutu ojulumo ti o ga, photoresist ti fẹ sii ati ki o buru si lẹhin iyipo yan nitori gbigba ọrinrin. Adhesion Photoresist tun le ni ipa ni odi nipasẹ ọriniinitutu ibatan ti o ga; ọriniinitutu ibatan kekere (nipa 30%) jẹ ki ifaramọ photoresist rọrun, paapaa laisi iwulo fun iyipada polymeric.
Ṣiṣakoso ọriniinitutu ojulumo ninu yara mimọ kan kii ṣe lainidii. Sibẹsibẹ, bi akoko ṣe yipada, o dara julọ lati ṣe atunyẹwo awọn idi ati awọn ipilẹ ti o wọpọ, awọn iṣe ti a gba ni gbogbogbo.
Ọriniinitutu le ma ṣe akiyesi paapaa fun itunu eniyan wa, ṣugbọn o nigbagbogbo ni ipa nla lori ilana iṣelọpọ, paapaa nibiti ọriniinitutu ti ga, ati ọriniinitutu nigbagbogbo jẹ iṣakoso ti o buru julọ, eyiti o jẹ idi ti Ni iwọn otutu ati iṣakoso ọriniinitutu ti yara mimọ, ọriniinitutu jẹ ayanfẹ.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹsan-01-2020